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基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计 期刊论文
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:  陈昊;  陈琦;  蒋贵德
caj(227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：598/126  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  气浮导轨  精密定位  前馈控制  
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:  尹志生;  李友如;  李佩玥;  郭抗;  李朋志
caj(904Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/168  |  提交时间：2017/09/17
双频激光干涉仪  六自由度位姿检测  误差补偿  齐次变换  
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:  宋楠;  冯树龙;  于海利;  齐向东;  巴音贺希格;  唐玉国
caj(1313Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/168  |  提交时间：2016/07/06
光栅  衍射光栅  光栅刻划机  气浮导轨  双频激光干涉仪  刀架系统  
丝杠螺母副轴向窜动误差分析及测量系统设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 397-401
作者:  姚雪峰;  于海利;  冯树龙;  齐向东
caj(281Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：639/159  |  提交时间：2013/03/11
丝杠螺母副  精密仪器  轴向窜动  误差分析  非接触式测量  双频激光干涉仪