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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于Zernike模型系数优化的椭球型窗口光学系统像差校正
期刊论文
物理学报, 2020, 卷号: 69, 期号: 24, 页码: 153-160
作者:
梁殿明
;
王超
;
史浩东
;
刘壮
;
付强
;
张肃
;
战俊彤
;
余益欣
;
李英超
;
姜会林
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提交时间:2021/07/06
非球面窗口
Zernike多项式
变形镜
遗传算法
应用分块三次多项式的导引头测角精度标定
期刊论文
兵工学报, 2019, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 2042-2049
作者:
袁东明
;
丁亚林
;
张健
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浏览/下载:184/34
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提交时间:2020/08/24
导引头
分块三次多项式
测角精度
标定
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
作者:
戴岑
;
巩岩
;
张昊
;
李佃蒙
;
薛金来
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提交时间:2019/09/17
共焦显微
微分干涉差
标量衍射
膜层结构
缺陷探测
新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作
期刊论文
压电与声光, 2017, 页码: 260-264
作者:
张轲
;
苗斌
;
丁祥桢
;
顾智琦
;
潘天龙
;
李加东
;
吴东岷
;
张秋菊
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浏览/下载:375/132
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提交时间:2018/04/09
高频硅基超声雾化器
有限元分析
谐振频率
变幅杆
微机电系统
大长宽比长条形SiC反射镜的优化设计与试验
期刊论文
光子学报, 2017, 页码: 136-142
作者:
魏磊
;
张雷
;
李宗轩
;
马冬梅
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提交时间:2018/04/09
长条形反射镜
面形精度
拓扑优化
随机振动
轻量化
毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作
期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:
苗斌
;
李加东
;
张轲
;
吴东岷
caj(295Kb)
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浏览/下载:316/107
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提交时间:2017/09/17
力值计量
悬臂梁
弹性系数
微机电系统
绝缘衬底上的硅(Soi)
原子力显微镜探针批量制备工艺分析
期刊论文
微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123
作者:
李加东
;
苗斌
;
张轲
;
吴东岷
caj(1612Kb)
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浏览/下载:345/124
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提交时间:2017/09/17
原子力显微镜(Afm)
探针
绝缘衬底上的硅(Soi)
自锐式
曲率半径
B_2O_3添加宝石级金刚石单晶的生长特性
期刊论文
物理学报, 2016, 期号: 5, 页码: 24-30
作者:
肖宏宇
;
刘利娜
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秦玉琨
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张东梅
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张永胜
;
隋永明
;
梁中翥
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提交时间:2017/09/17
高温高压
温度梯度
金刚石
添加剂
光纤相移点衍射干涉仪关键技术
期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 01, 页码: 254-259
作者:
张宇
;
金春水
;
马冬梅
;
王丽萍
caj(1235Kb)
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提交时间:2016/07/06
高精度检测
光纤相移点衍射干涉仪
光学系统波像差
激光光源
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