Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 | |
| 苗斌; 李加东; 张轲; 吴东岷 | |
| 2016-08-15 | |
| 发表期刊 | 压电与声光
 |
| 期号 | 4页码:562-565 |
| 摘要 | 随着微纳技术、生物医学、航空航天等领域的发展,微小力值的计量得到了越来越广泛的应用。针对无源悬臂梁力值传感器的使用需求,研究了影响悬臂梁弹性系数的因素,设计了一组弹性系数为0.041~21.125N/m的无源悬臂梁力值传感器件,采用基于绝缘体上硅(SOI)硅片微机电系统(MEMS)工艺对器件进行制备,实验结果表明,制备的器件尺寸精度达到0.2%,器件的均匀性和成品率均可控。 |
| 关键词 | 力值计量 悬臂梁 弹性系数 微机电系统 绝缘衬底上的硅(Soi) |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57966 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苗斌,李加东,张轲,等. 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作[J]. 压电与声光,2016(4):562-565. |
| APA | 苗斌,李加东,张轲,&吴东岷.(2016).毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作.压电与声光(4),562-565. |
| MLA | 苗斌,et al."毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作".压电与声光 .4(2016):562-565. |
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| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作（295KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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