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毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565
作者:  苗斌;  李加东;  张轲;  吴东岷
caj(295Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/100  |  提交时间：2017/09/17
力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)