Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 原子力显微镜探针批量制备工艺分析 | |
| 李加东; 苗斌; 张轲; 吴东岷 | |
| 2016-02-15 | |
| 发表期刊 | 微纳电子技术
 |
| 期号 | 2页码:119-123 |
| 摘要 | 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。 |
| 关键词 | 原子力显微镜(Afm) 探针 绝缘衬底上的硅(Soi) 自锐式 曲率半径 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57988 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李加东,苗斌,张轲,等. 原子力显微镜探针批量制备工艺分析[J]. 微纳电子技术,2016(2):119-123. |
| APA | 李加东,苗斌,张轲,&吴东岷.(2016).原子力显微镜探针批量制备工艺分析.微纳电子技术(2),119-123. |
| MLA | 李加东,et al."原子力显微镜探针批量制备工艺分析".微纳电子技术 .2(2016):119-123. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 原子力显微镜探针批量制备工艺分析.caj（1612KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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