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23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:  刘震;  李旭;  马月英;  陈波;  曹健林
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极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  X射线衍射仪  反射率计  
偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 期刊论文
光学仪器, 2003, 期号: 04, 页码: 39-43
作者:  林强;  金春水;  向鹏;  马月英;  裴舒;  曹健林
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极紫外投影光刻  Schwarzschild投影物镜  计算机辅助装调  
均匀软X射线多层膜制备方法研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 期号: 05, 页码: 444-446
作者:  金春水;  林强;  马月英;  裴舒;  曹健林
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软x射线  多层膜  磁控溅射  均匀性  
中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量 期刊论文
物理学报, 2003, 期号: 04, 页码: 809-812
作者:  黄文忠;  李英骏;  谷渝秋;  张杰;  尤永禄;  淳于书泰;  何颍玲;  雷安乐;  陈正林;  马月英;  金春水
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X射线多层膜反射镜  反射率测量  X射线激光  
极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
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极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜  
软X射线激光多层膜均匀性控制技术 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 154-160
作者:  林炳;  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
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软x射线激光  多层膜  均匀性控制  
高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
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软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜  
制备长波段X射线多层膜的新方法 期刊论文
应用光学, 2001, 期号: 06, 页码: 34-39
作者:  王国田;  王当笠;  曹健林;  马月英
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软x射线多层膜  离子束溅射  反射率计  
极紫外多层膜制备工艺研究 期刊论文
光学技术, 2001, 期号: 06, 页码: 532-534
作者:  王占山;  马月英
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极紫外  多层膜  磁控溅射  
30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
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软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰