Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调 | |
林强; 金春水 ; 向鹏; 马月英; 裴舒; 曹健林
| |
| 2003-08-30 | |
| 发表期刊 | 光学仪器
 |
| 期号 | 04页码:39-43 |
| 关键词 | 极紫外投影光刻 Schwarzschild投影物镜 计算机辅助装调 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28869 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林强,金春水,向鹏,等. 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调[J]. 光学仪器,2003(04):39-43. |
| APA | 林强,金春水,向鹏,马月英,裴舒,&曹健林.(2003).偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调.光学仪器(04),39-43. |
| MLA | 林强,et al."偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设计及模拟装调".光学仪器 .04(2003):39-43. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 偏心孔阑离轴照明EUVL微缩投影物镜的设（87KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [林强]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [向鹏]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [林强]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [向鹏]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [林强]的文章 |
| [金春水]的文章 |
| [向鹏]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论