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基于自由曲面反射镜的低投射比超短焦投影物镜的光学设计（英文） 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 363-371
作者:  于百华;  田志辉;  苏东奇;  隋永新;  杨怀江
浏览  |  Adobe PDF(2800Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/91  |  提交时间：2021/07/06
光学系统设计  超短焦投影系统  自由曲面  
超短焦投影系统中自由曲面的多视场优化迭代设计方法 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 46-53
作者:  于百华;  田志辉;  苏东奇;  高松涛;  隋永新;  杨怀江
caj(1753Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：255/76  |  提交时间：2020/08/24
几何光学  光学设计  设计方法  自由曲面  超短焦投影系统  
大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计 期刊论文
光学仪器, 2015, 期号: 06, 页码: 522-525
作者:  曲艺;  苏东奇
caj(259Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/125  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  斐索干涉仪  标准镜头  面形测量  
猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者:  苏东奇;  苗二龙;  曲艺;  隋永新
caj(3041Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：462/144  |  提交时间：2016/07/06
测量  光学检测  猫眼  菲索干涉仪  波前  
高精度光学平板在三点支撑下自重变形的研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 157-165
作者:  武东城;  高松涛;  吴志会;  彭石军;  曲艺;  苏东奇;  苗二龙
caj(1516Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：575/124  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  三点支撑  自重变形  有限元法  
用计算全息图检测非球面时的自补偿效应分析 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 126-131
作者:  高松涛;  武东城;  彭石军;  苏东奇;  苗二龙
caj(1382Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/134  |  提交时间：2016/07/06
全息  计算全息图(Cgh)  非球面检测  自补偿效应  
离焦补偿算法提高曲率半径测量精度的研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 05, 页码: 116-121
作者:  彭石军;  苏东奇;  苗二龙
caj(1055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：568/116  |  提交时间：2016/07/06
测量  离焦补偿  曲率半径  立式干涉仪  
基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
作者:  苏东奇;  田伟;  苗二龙;  隋永新;  杨怀江
caj(941Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：267/78  |  提交时间：2016/07/06
光学检测  绝对检测  干涉术  重力变形  有限元方法  计算仿真  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：478/93  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 222-227
作者:  张艳微;  苏东奇;  隋永新;  杨怀江
caj(444Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/116  |  提交时间：2015/04/17
测量  误差补偿  旋转平均法  旋转非对称面形  绝对检测