Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计 | |
曲艺 ; 苏东奇
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| 2015-12-15 | |
| 发表期刊 | 光学仪器
 |
| 期号 | 06页码:522-525 |
| 摘要 | 设计了一款口径为30.48cm高精度斐索激光干涉仪参考镜,其F数为0.82,参考面半径为224.99mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0.095λ,均方根值为0.028λ,透射波前斜率最大值为11μrad。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响,其最大值为0.29nm。利用Zemax光学设计软件对参考镜进行了仿真分析,仿真与实验结果表明,该标准镜头可满足精度1nm的元件面形检测需求。 |
| 关键词 | 光学设计 斐索干涉仪 标准镜头 面形测量 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53461 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曲艺,苏东奇. 大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计[J]. 光学仪器,2015(06):522-525. |
| APA | 曲艺,&苏东奇.(2015).大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计.光学仪器(06),522-525. |
| MLA | 曲艺,et al."大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计".光学仪器 .06(2015):522-525. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计.c（259KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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