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太阳极紫外成像光谱仪光学系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  刘壮
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极紫外多层膜光栅技术研究进展 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8
作者:  张立超
Adobe PDF(496Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/178  |  提交时间：2012/05/11
多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 16-20
作者:  张立超
Adobe PDF(1061Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：408/117  |  提交时间：2012/05/11
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:  刘震;  李旭;  马月英;  陈波;  曹健林
caj(422Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/119  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜反射镜  磁控溅射  X射线衍射仪  反射率计  
极紫外_软X射线多层膜衍射光栅 期刊论文
光电工程, 2007, 期号: 5
作者:  金春水
Unknown(206Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/164  |  提交时间：2012/09/25
软X射线多层膜光栅 期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 02, 页码: 1-7
作者:  曹召良;  张立超;  曹健林
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/69  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  光栅  
均匀软X射线多层膜制备方法研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2003, 期号: 05, 页码: 444-446
作者:  金春水;  林强;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(49Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/68  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜  磁控溅射  均匀性  
高反射率13nmMo/Si多层膜 期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: Z1, 页码: 149-153
作者:  刘毅楠;  马月英;  曹健林
caj(65Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：357/77  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  原子力显微镜  离子束溅射镀膜  
制备长波段X射线多层膜的新方法 期刊论文
应用光学, 2001, 期号: 06, 页码: 34-39
作者:  王国田;  王当笠;  曹健林;  马月英
caj(107Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：382/51  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  反射率计  
30.4nmSi/C多层膜反射镜的制备与测量 期刊论文
真空科学与技术, 2000, 期号: 06, 页码: 45-46
作者:  刘毅楠;  马月英;  斐舒;  尼启良;  胡卫兵;  曹健林
caj(18Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：430/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  离子束溅射  二级衍射峰