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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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2016 [4]
2015 [3]
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中文 [4]
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Yi Qi Yi B... [2]
仪器仪表学报 [2]
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Guangxue J... [1]
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面向电容式传感器线性度标定的柔性微动机构设计
期刊论文
仪器仪表学报, 2016, 期号: 6, 页码: 1210-1217
作者:
张德福
;
李显凌
;
葛川
;
倪明阳
;
郭抗
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提交时间:2017/09/17
柔性机构
伪刚体模型
传感器
线性度
标定
电容传感器线性度标定平台
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:
张德福
;
葛川
;
李显凌
;
倪明阳
;
郭抗
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提交时间:2017/09/17
电容传感器
线性度标定
标定平台
柔度矩阵
Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者:
Zhang, D.
;
X. Li
;
C. Ge
;
M. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:
Zhang, D.-F.
;
C. Ge
;
X.-L. Li
;
M.-Y. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定
期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:
葛川
;
张德福
;
李朋志
;
郭抗
;
李佩玥
;
杨怀江
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提交时间:2016/07/06
电容传感器
位移传感器
标定
线性度
不确定度
光刻投影物镜
高精度位移传感器线性度标定方法研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:
张德福
;
葛川
;
李显凌
;
倪明阳
;
郭抗
;
李朋志
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提交时间:2016/07/06
传感器
标定
线性度
柔度矩阵
Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor
期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:
Zhang, D.
;
C. Ge
;
X. Li
;
M. Ni
;
K. Guo and P. Li
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提交时间:2016/08/24