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| Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文 光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202 作者: 孙诗壮; 金春水; 喻波; 郭涛; 姚舜; 李春; 邓文渊 浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:270/60  |  提交时间:2021/07/06 薄膜 Mo/Si多层膜 极紫外光刻 磁控溅射 表面粗糙度 功率谱密度 |
| Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7 作者: S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng 浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:237/89  |  提交时间:2021/07/06 |
| 光子计数成像探测器电荷感应层Ge薄膜特性研究 期刊论文 长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4, 页码: 38-41 作者: 郑鑫; 陈波; 王孝东; 张宏吉; 李云鹏; 于再超 caj(1170Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:365/127  |  提交时间:2017/09/17 Ge薄膜 直流磁控溅射 Ar气通入量 沉积速率 电学性质 |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang 浏览  |  Adobe PDF(1342Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:355/76  |  提交时间:2017/09/11 |
| 硅基平板声子晶体传感器高灵敏度 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 龙斌 Adobe PDF(3172Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:186/2  |  提交时间:2016/04/11 声子晶体 缺陷态 质量灵敏度 磁性微粒 |
| Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3 作者: Wang, X.; C. Jin; C. Li and S. Kuang 浏览  |  Adobe PDF(1950Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:318/123  |  提交时间:2016/08/24 |
| Ge薄膜性能及其在光子计数成像探测器中的应用 期刊论文 光学精密工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1143-1149 作者: 李云鹏; 郑鑫; 张宏吉; 王孝东; 陈波; 曹健林 caj(642Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:564/133  |  提交时间:2015/04/17 光子计数成像 磁控溅射 非晶ge薄膜 电荷感应层 |
| 氮掺杂p型ZnO薄膜制备及相关问题研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 赵鹏程 Adobe PDF(4045Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/1  |  提交时间:2014/03/15 Zno薄膜 P型掺杂 分子束外延 间歇性补氧 B-n共掺 |
| Y孔分形频率选择表面的设计 期刊论文 光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 959-966 作者: 高劲松; 冯晓国; 赵晶丽 Adobe PDF(1167Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:716/226  |  提交时间:2012/05/11 |
| 低阻α-Ta栅电极材料的制备与研究 期刊论文 液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 28-34 作者: 王刚; 杨柏梁; 赵超; 刘宏宇; 黄锡珉 caj(272Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/71  |  提交时间:2013/03/11 Α-ta 直流磁控溅射 X射线衍射 方块电阻 |