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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵灵
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深紫外  光学薄膜  吸收  激光量热法  
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
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薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数  
P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  靳京城
Adobe PDF(2780Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/2  |  提交时间：2014/08/21
ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  常艳贺
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用脉冲激光溅射法制备的Yb~(3+)和Er~(3+)共掺杂氟化物薄膜的上转换发光 期刊论文
中国稀土学报, 2001, 期号: 06, 页码: 526-528
作者:  秦冠仕;  秦伟平;  陈宝玖;  吴长峰;  吕少哲;  黄世华
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稀土  氟化物薄膜  上转换发光  脉冲激光溅射