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音圈快速反射镜的完全跟踪控制 期刊论文
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 09, 页码: 1997-2006
作者:  王福超;  王昱棠;  田大鹏
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快速反射镜  音圈电机  完全跟踪控制  滑模变结构控制  
基于非线性积分滑模的交叉耦合控制研究 期刊论文
国外电子测量技术, 2020, 卷号: 39, 期号: 01, 页码: 113-117
作者:  齐彪;  武奕楠
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同步控制  交叉耦合控制  非线性积分滑模控制  
Perfect tracking control for fast-steering mirror driven by voice coil motor 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2020, 卷号: 28, 期号: 9, 页码: 1997-2006
作者:  F.-C. Wang,Y.-T. Wang and D.-P. Tian
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直线伺服系统迭代学习控制非重复性扰动抑制研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  丁鲁川
caj(5480Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：239/0  |  提交时间：2020/08/24
直线电机  迭代学习控制  非重复性扰动抑制  小波变换  干扰观测器  
Effects of Dynamic Factors on Ensquared Energy in Gene Sequencing System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2019, 卷号: 39, 期号: 9
作者:  Z.Sun;  W.Li
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Genes,Fluorescence microscopy,Imaging systems,Statistics  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
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菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/2  |  提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪  移相器  微位移  柔性铰链  压电陶瓷  
光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张艳微
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干涉检测  绝对检测  旋转法绝对检测  误差分析