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基于非线性积分滑模的交叉耦合控制研究
齐彪; 武奕楠
2020-01-15
发表期刊国外电子测量技术
卷号39期号:01页码:113-117
摘要H型桁架定位平台,凭借其简单的机械结构以及较高的运动稳定性等优势,被广泛应用于超精密测量及半导体加工成型等设备当中。鉴于系统的定位精度、同步性能等指标的不断提升,对H型桁架定位平台系统,基于欧拉-拉格朗日法进行动力学建模,并设计了一种基于非线性积分滑模控制算法的双交叉耦合同步控制策略。实验结果表明,采用非线性积分滑模控制算法以及双交叉耦合同步控制架构,具有动态稳定度高、鲁棒性强等特点。该方法满足同步控制要求,便于工程实现。
关键词同步控制 交叉耦合控制 非线性积分滑模控制
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文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/64105
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
第一作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
齐彪,武奕楠. 基于非线性积分滑模的交叉耦合控制研究[J]. 国外电子测量技术,2020,39(01):113-117.
APA 齐彪,&武奕楠.(2020).基于非线性积分滑模的交叉耦合控制研究.国外电子测量技术,39(01),113-117.
MLA 齐彪,et al."基于非线性积分滑模的交叉耦合控制研究".国外电子测量技术 39.01(2020):113-117.
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