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| Effect and compensate of grating curvature radius error in Seya-Namioka monochromator 期刊论文 Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 623-629 作者: Meng, Zhu; Tan, Xin; Bayanheshig; Wang, Wei; Liu, Zhao-Wu; Zhao, Xu-Long 浏览  |  Adobe PDF(2762Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:343/94  |  提交时间:2019/09/17 Error compensation Monochromators Ray tracing |
| 移栅型全息光栅曝光干涉条纹锁定 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 233-240 作者: 宋莹; 赵旭龙; 姜岩秀; 巴音贺希格; 齐向东 caj(373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:433/128  |  提交时间:2018/04/09 全息 全息光栅 干涉条纹锁定 分束光栅 叠栅条纹 |
| Interference Fringe Locking by Grating-Shifting Holographic Grating Exposure 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 5 作者: Song, Y.; X. Zhao; Y. Jiang; Bayanheshig and X. Qi 浏览  |  Adobe PDF(528Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:328/103  |  提交时间:2018/06/13 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7 作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li 浏览  |  Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:284/88  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig 浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:288/93  |  提交时间:2018/06/13 |
| Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1 作者: Liu, Z.; W. Li; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang; X. Li and Q. Lu 浏览  |  Adobe PDF(420Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:318/96  |  提交时间:2018/06/13 |
| 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文 激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343 作者: 宋莹 caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:269/66  |  提交时间:2017/09/17 光栅 光栅曝光 数值计算 条纹相位变化 曝光对比度 掩模槽形 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin 浏览  |  Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:307/79  |  提交时间:2017/09/11 |
| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12 作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan 浏览  |  Adobe PDF(1920Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:453/83  |  提交时间:2017/09/11 |
| 小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 周辉 Adobe PDF(2193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:373/5  |  提交时间:2016/04/11 平场凹面光栅光谱仪 小型化 高分辨率 优化设计 机械装调 误差分析 |