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干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响 期刊论文
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:  宋莹
caj(261Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/64  |  提交时间：2017/09/17
光栅  光栅曝光  数值计算  条纹相位变化  曝光对比度  掩模槽形  
Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  X. Mi;  S. Jiang;  H. Yu;  X. Li and L. Yin
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Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang and M. Pan
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