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激光直写机床系统正交性误差影响下计算全息图相位分析 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 10, 页码: 385-392
作者:  郑立功;  郝腾;  国成立;  王若秋;  张志宇
caj(1198Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:426/64  |  提交时间:2017/09/17
测量  计算全息图  激光直写  标量衍射理论  对准区域  正交性误差  
用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵龙波
Adobe PDF(3262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:400/2  |  提交时间:2015/05/03
计算全息图  非球面检测  激光直写  反应离子刻蚀  衍射光学元件加工  
深凹球面网栅恒定曝光量激光直写控制实现 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 02, 页码: 381-386
作者:  梁凤超
caj(425Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:387/116  |  提交时间:2014/03/07
恒定曝光量  凹球面  网栅  激光直写  伺服控制  
一种新型分度轴精度分析 期刊论文
机械设计与制造, 2007, 期号: 8
作者:  王惠卿
Unknown(141Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/163  |  提交时间:2012/09/25
光刻  激光直写  球面  金属网栅  分度轴  
利用曲面计算全息图进行非球面检测 期刊论文
光学精密工程, 2004, 期号: 06, 页码: 555-559
作者:  卢振武;  刘华;  李凤有
caj(79Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:419/86  |  提交时间:2013/03/11
激光直写  非球面检测  计算全息图  
利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测 期刊论文
光电子·激光, 2004, 期号: 09, 页码: 1088-1090
作者:  卢振武;  李凤有;  刘华;  谢永军;  翁志成
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:358/83  |  提交时间:2013/03/11
曲面计算全息图  凸面非球面  非球面检测  激光直写  
离焦激光直写光刻工艺研究 期刊论文
中国激光, 2002, 期号: 09, 页码: 850-854
作者:  李凤友;  卢振武;  谢永军;  张殿文;  裴苏;  赵晶丽
caj(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:503/82  |  提交时间:2013/03/11
激光直写光刻  离焦写入  四轴激光直写系统  
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文) 期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:  李凤友;  卢振武;  谢永军;  张殿文
caj(188Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:439/61  |  提交时间:2013/03/11
激光直写  衍射光学元件  计算全息图和光刻  
二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法 期刊论文
光电工程, 2001, 期号: 02, 页码: 4-6+18
作者:  熊木地;  张慧敏;  肖文礼;  邢忠宝
caj(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:358/70  |  提交时间:2013/03/11
二元光学  激光直写  主轴伺服控制  速度控制  自适应控制  
二元光学元件激光直接写入设备的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 02, 页码: 154-157
作者:  张景和;  廖江红;  刘伟;  冯晓国
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:357/66  |  提交时间:2013/03/11
二元光学元件  激光直写设备  临界角法