Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法 | |
| 熊木地; 张慧敏; 肖文礼; 邢忠宝 | |
| 2001-04-28 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| 期号 | 02页码:4-6+18 |
| 关键词 | 二元光学 激光直写 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29431 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊木地,张慧敏,肖文礼,等. 二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法[J]. 光电工程,2001(02):4-6+18. |
| APA | 熊木地,张慧敏,肖文礼,&邢忠宝.(2001).二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法.光电工程(02),4-6+18. |
| MLA | 熊木地,et al."二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法".光电工程 .02(2001):4-6+18. |
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