Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 离焦激光直写光刻工艺研究 | |
李凤友; 卢振武 ; 谢永军; 张殿文; 裴苏; 赵晶丽
| |
| 2002-09-25 | |
| 发表期刊 | 中国激光
 |
| 期号 | 09页码:850-854 |
| 关键词 | 激光直写光刻 离焦写入 四轴激光直写系统 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29102 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李凤友,卢振武,谢永军,等. 离焦激光直写光刻工艺研究[J]. 中国激光,2002(09):850-854. |
| APA | 李凤友,卢振武,谢永军,张殿文,裴苏,&赵晶丽.(2002).离焦激光直写光刻工艺研究.中国激光(09),850-854. |
| MLA | 李凤友,et al."离焦激光直写光刻工艺研究".中国激光 .09(2002):850-854. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 离焦激光直写光刻工艺研究.caj（479KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [李凤友]的文章 |
| [卢振武]的文章 |
| [谢永军]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [李凤友]的文章 |
| [卢振武]的文章 |
| [谢永军]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [李凤友]的文章 |
| [卢振武]的文章 |
| [谢永军]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论