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利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测 期刊论文
光电子·激光, 2004, 期号: 09, 页码: 1088-1090
作者:  卢振武;  李凤有;  刘华;  谢永军;  翁志成
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曲面计算全息图  凸面非球面  非球面检测  激光直写  
离焦激光直写光刻工艺研究 期刊论文
中国激光, 2002, 期号: 09, 页码: 850-854
作者:  李凤友;  卢振武;  谢永军;  张殿文;  裴苏;  赵晶丽
caj(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：436/79  |  提交时间：2013/03/11
激光直写光刻  离焦写入  四轴激光直写系统  
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文) 期刊论文
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:  李凤友;  卢振武;  谢永军;  张殿文
caj(188Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/59  |  提交时间：2013/03/11
激光直写  衍射光学元件  计算全息图和光刻