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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
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成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
光刻投影物镜整体式XY微调整机构设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 7, 页码: 787-794
作者:  张德福;  孙振
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光刻投影物镜  位移缩小机构  完全解耦  波像差  
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
作者:  张德福;  李显凌
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光学器件  深紫外光刻  投影物镜  像差补偿  偏心调节机构  调节力  面形  
基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 2, 页码: 269-275
作者:  张德福;  赵磊
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光刻投影物镜  微调整机构  光机结构  波像差