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大口径光子筛的小孔环带衍射模型设计 期刊论文
光学学报, 2019, 卷号: 39, 期号: 10, 页码: 75-81
作者:  周润;  张新;  王仁浩
caj(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：198/61  |  提交时间：2020/08/24
光栅  衍射光学元件  成像光学系统  光学系统设计  
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞
caj(1710Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：326/96  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热  
用于激光数字投影显示系统的匀光整形元件设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 44-49
作者:  张巍;  梁传样;  李金;  芮大为
caj(3055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/96  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  衍射光学元件  光束整形  均匀照明  激光投影显示  
TDI CCD成像电路系统响应模型的研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 52-59
作者:  郑亮亮;  张贵祥;  贺小军;  曲宏松;  金光
caj(1296Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/123  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  时间延迟积分  电荷耦合元件  成像电路  响应模型  辐射定标  
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：550/174  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38
作者:  张巍;  巩岩
caj(378Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/89  |  提交时间：2013/03/11
衍射  衍射光学元件  光束整形  矢量角谱  偏振  
放大率恒定的二元光学超光谱成像仪光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 11, 页码: 1382-1386
作者:  于斌;  禹秉熙
caj(90Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/58  |  提交时间：2013/03/11
超光谱成像  二元光学元件  成像光谱仪  变焦透镜  光学二组元  
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究 期刊论文
光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133
作者:  王占山;  马月英;  吕俊霞;  高宏刚;  刘毅楠;  裴舒;  曹健林;  徐向东;  洪义麟;  付绍军
caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：425/87  |  提交时间：2013/03/11
X射线布拉格－菲涅耳光学元件  多层膜  波带片  离子束刻蚀  
软X射线多层膜色散元件 期刊论文
光学学报, 1994, 期号: 11, 页码: 1204-1209
作者:  曹健林;  马月英;  张俊平;  高宏刚;  王占山;  裴舒;  陈星旦
caj(229Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：369/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  多层膜技术  色散元件  
轴向梯度折射率光学元件的设计 期刊论文
光学学报, 1985, 期号: 07, 页码: 577-584
作者:  林中天;  薛鸣球
caj(265Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：386/62  |  提交时间：2013/03/11
轴向梯度折射率:8300  薄透镜:3327  像差系数:2390  光学元件:1682  初级:1632  均匀介质:1533  折射率梯度:1467  片轴:1393  梯度折射率透镜:1128  补偿组:1052