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| 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 148-156 作者: 糜小涛; 于海利; 于宏柱; 齐向东; 李晓天; 万秋华![](/image/person.jpg)
caj(3271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:831/130  |  提交时间:2018/04/09 衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 |
| 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272 作者: 宋楠; 冯树龙; 于海利; 齐向东; 巴音贺希格; 唐玉国
caj(1313Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:364/161  |  提交时间:2016/07/06 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 |
| 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246 作者: 杨超; 于海利; 张善文; 于宏柱; 李晓天; 唐玉国
caj(1321Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:364/126  |  提交时间:2016/07/06 光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 |
| 光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182 作者: 李晓天; 于海利; 齐向东; 朱继伟; 于宏柱; 巴音贺希格
caj(724Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:386/116  |  提交时间:2015/04/17 光栅 光栅刻划机 宏微两级工作台 Bp神经网络 Pid控制 自适应控制 |
| 9.77μm激光器零级耦合输出选频振荡光栅的设计和研制 期刊论文 中国激光, 2005, 期号: 03, 页码: 301-305 作者: 巴音贺希格; 高键翔; 齐向东; 李英海; 张坊城; 李春启
caj(279Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:407/72  |  提交时间:2013/03/11 激光器 闪耀光栅 刻划工艺 选频振荡 零级耦合输出 衍射效率 |