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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [5]
作者
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期刊论文 [5]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
2011 [3]
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中文 [1]
出处
中国激光 [5]
资助项目
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EI [2]
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出处:中国激光
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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
收藏
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浏览/下载:252/0
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提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:
王辉
;
周烽
;
喻波
;
谢耀
;
于杰
;
刘钰
;
王丽萍
caj(1280Kb)
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收藏
  |  
浏览/下载:348/126
  |  
提交时间:2016/07/06
测量
光刻技术
有限元分析
高复现性支撑装置
薄膜均匀性测量
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
caj(458Kb)
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收藏
  |  
浏览/下载:543/142
  |  
提交时间:2013/03/11
薄膜
Mo/si多层膜
扩散系数
掠入射x射线反射谱
四层模型
极紫外
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
Adobe PDF(568Kb)
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浏览/下载:445/125
  |  
提交时间:2012/05/11
超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法
期刊论文
中国激光, 2011
作者:
金春水
;
邓文渊
;
喻波
Adobe PDF(907Kb)
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浏览/下载:574/215
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提交时间:2012/05/11