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二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
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二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
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Development of grating-based precise displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 4, 页码: 741-752
作者:  X.Gao;  S.-H.Li;  Q.-L.Ma;  W.Chen
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Displacement measurement,Diffraction gratings,Machinery,Manufacture  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
作者:  张成山;  孟庆孔
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光电式光栅刻划机  衍射光栅干涉仪  莫尔条纹  
一种二维光栅干涉仪的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: 03, 页码: 272-276
作者:  赵博;  晏磊;  郝德阜
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正交衍射光栅  透射光栅  光栅干涉仪  
衍射光栅自刻法 期刊论文
光学学报, 1983, 期号: 07, 页码: 577-584
作者:  梁浩明;  郝德阜
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光栅干涉仪:6886  衍射光栅:4330  半波:2609  转接:2562  累积误差:2397  基准光栅:2182  相位差:2111  刻划机:1503  误差系数:1277  衍射波:1261