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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/133  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11
作者:  Song, Y.;  Q.-P. Lu;  X.-P. Gong;  Y. Wang and Z.-Q. Peng
Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/115  |  提交时间：2018/06/13
极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：541/169  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
Time behavior and optimum conditions for the Xe gas extreme ultraviolet source 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 24
作者:  Zhao Y. P.;  Xu Q.;  Xiao D. L.;  Ding N.;  Xie Y.;  Li Q.;  Wang Q.
Adobe PDF(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/102  |  提交时间：2014/05/14
Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 9, 页码: 2100-2107
作者:  王平;  王汝冬;  田伟;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/181  |  提交时间：2012/05/11