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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：235/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者: 高松涛 ; 武东城; 苗二龙
 caj(539Kb) | 收藏 | 浏览/下载：433/136 | 提交时间：2018/04/09
计算全息图 Cgh 畸变 非球面检测 |
| 离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者: 才玺坤; 张立超; 时光; 贺健康; 武潇野; 梅林
caj(317Kb) | 收藏 | 浏览/下载：377/147 | 提交时间：2017/09/17
离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 |
| 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者: 张春雷; 徐乐; 刘健; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
caj(596Kb) | 收藏 | 浏览/下载：415/130 | 提交时间：2017/09/17
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(Ibf) |
| Sub-nanometer precision optical fabrication of CaF2materials 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 11
作者: Zhang, C.-L.; L. Xu; J. Liu; Z.-L. Ma; F. Wang; Y.-Q. Gu; L. Dai and S.-J. Peng
 浏览 | Adobe PDF(752Kb) | 收藏 | 浏览/下载：426/122 | 提交时间：2017/09/11 |
| 双光子荧光显微镜扫描控制与成像系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 刘云
Adobe PDF(3215Kb) | 收藏 | 浏览/下载：465/3 | 提交时间：2016/04/11
双光子 共聚焦 激光扫描 共振扫描 畸变校正 三维成像 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张艳微
Adobe PDF(1884Kb) | 收藏 | 浏览/下载：396/2 | 提交时间：2015/05/03
干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
Adobe PDF(2717Kb) | 收藏 | 浏览/下载：256/2 | 提交时间：2015/05/03
光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 超高精度非球面面形检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 高松涛
Adobe PDF(6107Kb) | 收藏 | 浏览/下载：529/3 | 提交时间：2014/08/21 |
| 光学精密透镜的光力学耦合分析与优化设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 刘永明
Adobe PDF(2728Kb) | 收藏 | 浏览/下载：377/1 | 提交时间：2014/08/21 |
