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| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦 caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:431/139  |  提交时间:2018/04/09 极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng 浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:332/126  |  提交时间:2018/06/13 |
| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 代晓珂 Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:271/2  |  提交时间:2015/05/03 光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 鹿国庆 Adobe PDF(1786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:509/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文 光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372 作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:566/181  |  提交时间:2014/03/07 光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |