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| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 李朋志![](/image/person.jpg)
caj(10011Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:187/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 空间遥感器次镜多维调节装置的研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 崔鑫磊
Adobe PDF(3347Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:201/2  |  提交时间:2016/04/11 6-ups并联机构 次镜多维调节装置 运动学模型 动力学模型 误差 运动学参数辨识 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2015 作者: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:321/2  |  提交时间:2016/04/11 菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 极微小电容的检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 冯佳
Adobe PDF(1873Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:373/2  |  提交时间:2015/05/03 电容传感器 电容检测 交流激励式 电容桥 开关检波 |
| 手指功能康复设备的结构与控制系统研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 李冲
Adobe PDF(2933Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:234/1  |  提交时间:2015/05/03 康复机械手 连续被动运动 结构设计 电机控制 传感器 |
| 同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 高飒飒
Adobe PDF(5260Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:365/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 基于镜面间隔和中心偏差测量的光学镜头辅助装调设备的研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 郭帮辉![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(3271Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:599/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 紫外环形成像仪设计与研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 于向阳
Adobe PDF(5750Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:327/2  |  提交时间:2014/08/21 |
| 变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2013 作者: 宋源
Adobe PDF(2262Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:441/2  |  提交时间:2014/03/15 同步辐射 变包含角平面光栅 单色器 分辨率 聚焦常数 热分析 机械精度检测 |