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| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 向阳 ; 齐克奇
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| 一种场发射显示器件中阳极屏的制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人: 李志明; 孙晓娟; 宋航; 黎大兵; 陈一仁; 缪国庆; 蒋红
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| 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 赵磊; 巩岩; 张巍; 倪明阳
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| 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊
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| 湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 李志明; 孙晓娟; 宋航; 黎大兵; 陈一仁; 缪国庆; 蒋红
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| 正栅极结构的场发射器件中绝缘层的制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人: 李志明; 孙晓娟; 宋航; 黎大兵; 陈一仁; 缪国庆; 蒋红
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| 激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11
发明人: 王忠生; 汤建华; 吴玉斌; 田兴志; 王洋
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| 一种用于ＥＵＶ光刻系统的复眼反射镜制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 金春水; 王辉; 郑琪峰; 周烽; 王丽萍
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| 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-03-21
发明人: 孙继凤; 刘立峰; 郭晓光; 汤建华; 田兴志
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