中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法 (发明)
	王忠生; 汤建华; 吴玉斌; 田兴志; 王洋
	2012-04-11
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-04-11
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及在对材料进行激光精密加工中的调焦方法，特别是一种激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法。是通过增加一精密位移台，辅以水平仪和高度尺，进行定量调整，通过观察光刻效果，实现焦面的快速精确调整，先通过调整螺栓使光学平台上的扫描场镜距工作台的高度和焦面位置近似一致，再通过精密位移台进行两次精调，焦面的位置和角度精度……
资助项目	101733561B
申请号	200910217808.4
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11698
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	王忠生,汤建华,吴玉斌,等. 激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法 (发明)[P]. 2012-04-11.

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CN201010173356100000（1554KB）			开放获取	--	浏览 下载

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