Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) | |
向阳 ; 齐克奇
| |
| 2012-07-25 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-07-25 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域，该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成，每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成；支撑调整杠杆机构通过固定件将杠杆安装底座与安装基板固定，并通过安装件将物镜法兰和调节杠杆前端连接。本发明的有益效…… |
| 资助项目 | 102141741B |
| 申请号 | 201110095516.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11930 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向阳,齐克奇. 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明)[P]. 2012-07-25. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201110214174100000（511KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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