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一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明)
向阳; 齐克奇
2012-07-25
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2012-07-25
专利类型发明专利
摘要一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域,该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成,每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成;支撑调整杠杆机构通过固定件将杠杆安装底座与安装基板固定,并通过安装件将物镜法兰和调节杠杆前端连接。本发明的有益效……
资助项目102141741B
申请号201110095516.5
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11930
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
向阳,齐克奇. 一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明)[P]. 2012-07-25.
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