Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) | |
倪明阳 ; 巩岩; 张巍; 赵阳; 赵磊
| |
| 2012-06-13 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜加工装配过程中对不同尺寸镜片、镜筒以及镜框进行可靠吸取、搬运的问题。本装置包括适配接头、上盖、外壳、蜗轮、蜗杆、调节手柄、拨销、连杆、橡胶吸嘴。通过蜗轮蜗杆的啮合传动带动三个周向均布的拨销转动，拨销拨动连杆使得…… |
| 资助项目 | 102162935B |
| 申请号 | 201010613598.3 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11949 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 倪明阳,巩岩,张巍,等. 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明)[P]. 2012-06-13. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201110216293500000（639KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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