Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法 (发明) | |
李志明 ; 孙晓娟; 宋航; 黎大兵; 陈一仁; 缪国庆; 蒋红
| |
| 2012-06-13 | |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 摘要 | 湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法，涉及真空镀精细图形镀膜的过程中的掩膜漏板的加工领域，它解决了现有采用化学腐蚀的方法制备金属掩板尺寸误差大，并且在加工过程中金属掩膜漏板容易发生侧腐的问题，本发明方法为：首先选择铁铬合金薄片作为金属掩膜漏板基材，其次对所述的金属基材双面蒸镀不同的金属材料，再次采用光刻方法实现双面精确紫…… |
| 资助项目 | 101887214B |
| 申请号 | 201010228796.8 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11777 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李志明,孙晓娟,宋航,等. 湿法腐蚀制备精细金属掩膜漏板的方法 (发明)[P]. 2012-06-13. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| CN201010188721400000（389KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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