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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知... [14]
作者
高旭 [1]
吕金光 [1]
梁静秋 [1]
秦余欣 [1]
文献类型
期刊论文 [16]
发表日期
2021 [1]
2020 [1]
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2011 [5]
1989 [1]
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出处:光学学报
文献类型:期刊论文
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基于灰度插值的条纹图像位移亚像素检测算法
期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 133-141
作者:
李舒航
;
高旭
;
刘兆武
;
胡文浩
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浏览/下载:134/60
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提交时间:2022/06/29
像场调制傅里叶变换成像光谱仪的建模与实验研究
期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 18, 页码: 117-124
作者:
吕金光
;
赵百轩
;
梁静秋
;
王维彪
;
秦余欣
;
陶金
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提交时间:2021/07/06
成像系统
光谱学
成像光谱仪
像场调制
干涉成像
扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 07, 页码: 55-64
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
李文昊
;
宋莹
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浏览/下载:236/97
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提交时间:2016/07/06
光栅
扫描干涉场曝光系统
干涉条纹周期测量
相位锁定
光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:
代晓珂
;
金春水
;
王丽萍
;
于杰
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浏览/下载:370/114
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提交时间:2015/04/17
光学设计
极紫外光刻
光纤点衍射
球面参考源
偏振控制
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:
姜珊
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
宋莹
;
潘明忠
caj(447Kb)
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浏览/下载:349/101
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提交时间:2015/04/17
光栅
扫描干涉场曝光系统
相位锁定
光栅周期
刻线误差
基于多光束干涉的长程轮廓仪
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:
李晶
;
巩岩
;
廖家胜
;
张巍
caj(530Kb)
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提交时间:2015/04/17
测量
长程轮廓仪
分束器
多光束干涉
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:
廖家胜
;
巩岩
;
张巍
;
李晶
;
李春才
;
姚长呈
;
闵林
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浏览/下载:304/124
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提交时间:2015/04/17
测量
长程轮廓仪
分束结构
菲涅耳双棱镜
长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112001-1
作者:
巩岩
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浏览/下载:627/158
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提交时间:2012/05/11
平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 1005003-1
作者:
巴音贺希格
;
李文昊
;
孔鹏
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浏览/下载:379/98
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提交时间:2012/05/11
一种精确测量光学球面曲率半径的方法
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812010-1
作者:
王孝坤
;
郑立功
Adobe PDF(880Kb)
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浏览/下载:651/267
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提交时间:2012/05/11