已选(0)清除
条数/页: 排序方式: |
| 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 170-175 作者: 王依 ; 卢启鹏 ; 高云国![](/image/person.jpg)
caj(173Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:372/134  |  提交时间:2018/04/09 薄膜 极紫外光刻 碳污染 清洗技术 反射率 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉 ; 周烽 ; 喻波 ; 谢耀 ; 于杰 ; 刘钰 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(1280Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:368/133  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 220-229 作者: 何天博; 巴音贺希格; 张善文; 李文昊; 唐玉国
caj(658Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:343/114  |  提交时间:2015/04/17 光栅 体全息光栅 衍射特性 混合调制 衰减光栅 |
| 用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文 中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005 作者: 邓文渊 ; 金春水![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(830Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:562/172  |  提交时间:2012/05/11 |
| 深紫外氧化物薄膜的光学特性 期刊论文 中国激光, 2011 作者: 金春水 ; 李春 ; 邓文渊 ; 匡尚奇
Adobe PDF(465Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:626/143  |  提交时间:2012/05/11 |
| 基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文 中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(568Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:475/135  |  提交时间:2012/05/11 |
| 声光调QCO2激光器的动力学模型 期刊论文 中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 7, 页码: 0702002-1 作者: 谢冀江 ; 张来明; 李殿军 ; 郭劲![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(1362Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:380/154  |  提交时间:2012/05/11 |
| 点衍射干涉仪基准波前测试技术研究 期刊论文 中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 0508003-1-6 作者: 马冬梅![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(462Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:720/273  |  提交时间:2012/05/11 |
| 高功率脉冲CO2激光器9.3μm波长选支研究 期刊论文 中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 0302008-1 作者: 邵春雷 ; 杨贵龙 ; 李殿军 ; 郭劲![](/image/person.jpg)
Adobe PDF(1555Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:455/151  |  提交时间:2012/05/11 |