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像素刻划偏振相机的高精度像素级偏振非均匀性矫正 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 130-137
作者:  孙翯;  王德江;  马天翔;  徐文畅;  姚园
caj(1208Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：562/154  |  提交时间：2018/04/09
成像系统  偏振相机  偏振成像  偏振非均匀性  矢量传输测距测量  纳米线栅  
扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:  王玮;  巴音贺希格;  潘明忠;  宋莹;  李文昊
caj(798Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/106  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光栅  扫描干涉场曝光  光束对准  曝光对比度  位置解耦  角度解耦