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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/123  |  提交时间：2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/132  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/110  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/135  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
连续多点成形中的成形载荷分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 06, 页码: 1288-1295
作者:  龚学鹏;  李明哲;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(909Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/69  |  提交时间：2013/03/11
柔性加工  连续成形  多点成形  数值分析  三维曲面  
基于多点调形原理的旋转曲面连续成形 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 01, 页码: 117-123
作者:  龚学鹏;  李明哲;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(828Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/109  |  提交时间：2013/03/11
柔性加工  连续成形  多点成形  数值分析  旋转曲面