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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：274/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
caj(1531Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/117  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
高成像质量光学系统的元件旋转补偿 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 128-134
作者:  刘春来;  黄玮;  尚红波;  许伟才;  杨旺
caj(3907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/93  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  高成像质量  旋转补偿  材料筛选  波前像差  
高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 04, 页码: 451-455
作者:  刘洋舟;  李晓彤;  岑兆丰;  许伟才;  尚红波;  阮望超
caj(868Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：489/111  |  提交时间：2014/03/07
光学设计  非均匀  光线追迹  成像质量