Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 蚀刻表面面形的分析 | |
张殿文; 卢振武 ; 曹召良; 李凤友; 赵晶丽; 裴舒; 刘玉玲; 王肇圻
| |
| 2002-07-25 | |
| 发表期刊 | 光子学报
 |
| 期号 | 07页码:887-893 |
| 关键词 | 离子束蚀刻 光栅 表面浮雕结构 准单向蚀刻效应 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29384 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张殿文,卢振武,曹召良,等. 蚀刻表面面形的分析[J]. 光子学报,2002(07):887-893. |
| APA | 张殿文.,卢振武.,曹召良.,李凤友.,赵晶丽.,...&王肇圻.(2002).蚀刻表面面形的分析.光子学报(07),887-893. |
| MLA | 张殿文,et al."蚀刻表面面形的分析".光子学报 .07(2002):887-893. |
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