一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明)

	一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明)
	张海涛; 裴舒; 马冬梅; 金春水
	2012-07-11
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于光学技术领域，特别涉及一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置，该装置包括光源、第一聚光镜组、第一可变光阑、第二可变光阑、第二聚光镜组和光路转折镜；光源，第一聚焦镜组，第一可变光阑，第二可变光阑和第二聚焦镜组共轴放置且光轴水平，转折镜与光轴成４５度夹角；第一聚光镜位于光源之后，第一可变光阑位于第一聚光……
资助项目	102565459A
申请号	201110449493.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12208
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张海涛,裴舒,马冬梅,等. 一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明)[P]. 2012-07-11.