Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明) | |
张海涛![]() ![]() ![]() | |
2012-07-11 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 本发明属于光学技术领域,特别涉及一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置,该装置包括光源、第一聚光镜组、第一可变光阑、第二可变光阑、第二聚光镜组和光路转折镜;光源,第一聚焦镜组,第一可变光阑,第二可变光阑和第二聚焦镜组共轴放置且光轴水平,转折镜与光轴成45度夹角;第一聚光镜位于光源之后,第一可变光阑位于第一聚光…… |
资助项目 | 102565459A |
申请号 | 201110449493.3 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12208 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张海涛,裴舒,马冬梅,等. 一种用于原子力显微镜检测微孔形状时的透射照明装置 (发明)[P]. 2012-07-11. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN201210256545900000(1989KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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