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固着磨料加工碳化硅反射镜的实验
王旭; 张学军; 徐领娣; 裴舒; 刘建卓
2009-04-15
发表期刊光学精密工程
ISSN1004-924X
期号4
摘要考虑固着磨料加工工艺其固着磨料与工件相对运动关系固定,有利于精确加工,提出了采用该工艺加工碳化硅反射镜的方法,利用大颗粒金刚石磨料快速加工出了较好的镜面质量。在工艺实验中,分别测得了W7,W5,W3.5,W1.5固着磨料丸片在特定转速和压力下对碳化硅材料的去除特性。对多组去除量曲线的分析表明,此工艺不仅有着较高的去除率,而且稳定性良好。对表面粗糙度测量的结果表明,使用W7丸片即可获得粗糙度为42.758nmrms的镜面。减小所用丸片的粒度,工件表面粗糙度随之减小,使用W1.5丸片抛光后,最终获得了粗糙度为1.591nmrms的光滑镜面。实验结果表明,固着磨料加工碳化硅反射镜工艺在粗研、精研、粗抛等加工阶段内可以取代传统的散粒磨料加工工艺。
关键词碳化硅反射镜 固着磨料 丸片 去除率 表面粗糙度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22022
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王旭,张学军,徐领娣,等. 固着磨料加工碳化硅反射镜的实验[J]. 光学精密工程,2009(4).
APA 王旭,张学军,徐领娣,裴舒,&刘建卓.(2009).固着磨料加工碳化硅反射镜的实验.光学精密工程(4).
MLA 王旭,et al."固着磨料加工碳化硅反射镜的实验".光学精密工程 .4(2009).
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