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绝对式光栅尺故障模式分析 期刊论文
机电产品开发与创新, 2017, 页码: 168-170
作者:  张雪鹏;  刘阳;  马俊林
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：262/101  |  提交时间：2018/04/09
绝对式光栅尺  可靠性  故障模式  
基于FPGA的EnDat协议时序研究 期刊论文
电子测量技术, 2016, 期号: 3, 页码: 91-94
作者:  蔺春波;  吴宏圣;  乔栋;  张雪鹏
caj(1189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/80  |  提交时间：2017/09/17
绝对式光栅尺  Endat协议  海德汉  西门子smc20  
绝对式光栅尺的机械结构设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 05, 页码: 28-29
作者:  杨帆
caj(150Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：200/83  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  工作原理  原理样机  
绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 92-93+96
作者:  郑黎明
caj(584Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：203/93  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  精度检测  激光干涉仪  精度修正  
绝对式光栅尺振动干扰的测试 期刊论文
机电产品开发与创新, 2015, 期号: 04, 页码: 119-121
作者:  蔺春波;  杨帆;  吴宏圣
caj(613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：188/66  |  提交时间：2016/07/06
绝对式光栅尺  振动干扰  Biss协议  Endat协议  
绝对式光栅尺细分误差补偿方法 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 220-225
作者:  乔栋;  续志军;  吴宏圣;  曾琪峰;  刘阳;  孙强
caj(1240Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/109  |  提交时间：2016/07/06
测量  细分误差  傅里叶分析  绝对式光栅尺  叠栅条纹  
基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法 期刊论文
华中科技大学学报(自然科学版), 2015, 期号: 01, 页码: 21-23+79
作者:  乔栋;  续志军;  吴宏圣;  曾琪峰
caj(145Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：292/95  |  提交时间：2016/07/06
测量  回归分析  绝对式光栅尺  精度  误差补偿  
绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/117  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
绝对式光栅尺读数头滑架机构工作精度的分析 期刊论文
计算机仿真, 2014, 期号: 7, 页码: 403-407
作者:  郑黎明;  黄剑波
caj(418Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：252/78  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  读数头  虚拟样机仿真  
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
caj(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：287/98  |  提交时间：2015/04/17
绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源