Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法 | |
乔栋; 续志军 ; 吴宏圣; 曾琪峰
| |
| 2015 | |
| 发表期刊 | 华中科技大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 01页码:21-23+79 |
| 摘要 | 提出一种使用回归分析提高绝对式光栅尺测量精度的方法.分析了影响绝对式光栅尺测量精度的因素以及提高其测量精度的方法;对JC09型绝对式光栅尺的测量值和真值进行回归分析,得到回归方程;对回归方程进行了显著性分析,并提出了修正方程;通过实验验证了该方法能够有效提高绝对式光栅尺的测量精度.实验结果表明:在绝对式光栅尺800mm测量长度内,测量精度由0~18.25μm提高到-4.21~5.72μm.另外,该方法具有成本低、计算量少以及易于实现的优点. |
| 关键词 | 测量 回归分析 绝对式光栅尺 精度 误差补偿 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53785 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 乔栋,续志军,吴宏圣,等. 基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法[J]. 华中科技大学学报(自然科学版),2015(01):21-23+79. |
| APA | 乔栋,续志军,吴宏圣,&曾琪峰.(2015).基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法.华中科技大学学报(自然科学版)(01),21-23+79. |
| MLA | 乔栋,et al."基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法".华中科技大学学报(自然科学版) .01(2015):21-23+79. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于回归分析的绝对式光栅尺精度提高方法.（145KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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