CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀
王大海; 李轶华; 孙艳; 吴渊; 陈国军; 付国柱; 荆海; 万春明
2002-02-28
发表期刊液晶与显示
期号01页码:59-64
关键词多晶硅薄膜晶体管 反应性离子刻蚀 刻蚀速率 选择比
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29589
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王大海,李轶华,孙艳,等. 多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀[J]. 液晶与显示,2002(01):59-64.
APA 王大海.,李轶华.,孙艳.,吴渊.,陈国军.,...&万春明.(2002).多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀.液晶与显示(01),59-64.
MLA 王大海,et al."多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀".液晶与显示 .01(2002):59-64.
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