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电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：312/99  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜