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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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文献类型:期刊论文
发表日期:2018
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浸没式光刻投影物镜光学薄膜
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:
毕丹丹
;
张立超
;
时光
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浏览/下载:196/0
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提交时间:2019/09/17
浸没式光刻
光学薄膜
膜系设计
环境适应性
激光辐照寿命
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制
期刊论文
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:
匡尚奇
;
张超
;
李硕
;
杨海贵
;
霍同林
;
周洪军
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浏览/下载:193/0
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提交时间:2019/09/17
光学多层膜
膜系设计
量子遗传算法
宽带极紫外多层膜
离散化设计
大相对孔径紫外成像仪光学系统设计
期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 212-218
作者:
崔穆涵
;
田志辉
;
周跃
;
章明朝
;
陈雪
;
李佳起
;
易翔宇
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浏览/下载:185/0
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提交时间:2019/09/17
电晕探测
紫外成像仪
光学系统
大孔径
消色差
分体式超大口径空间遥感器技术及其发展
期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 06, 页码: 1287-1298
作者:
杨会生
;
张学军
;
李志来
;
鲍赫
;
樊延超
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浏览/下载:256/0
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提交时间:2019/09/17
空间遥感器
超大口径
分体自重组系统
空间装调系统
空间制造系统
Design of large aperture ultraviolet optical system for ultraviolet camera
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 212-218
作者:
Cui, Mu-Han
;
Tian, Zhi-Hui
;
Zhou, Yue
;
Zhang, Ming-Chao
;
Chen, Xue
;
Li, Jia-Qi
;
Yi, Xiang-Yu
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浏览/下载:381/114
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提交时间:2019/09/17
Optical systems
Aberrations
Calcium fluoride
Cameras
Electric corona
Energy utilization
Fits and tolerances
Fluorine compounds
Fluorspar
Fused silica
Lenses
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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浏览/下载:288/115
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Design and Fabrication of Broadband Discrete Extreme-ultraviolet Multilayer Based on Quantum State Genetic Algorithm
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2018, 卷号: 47, 期号: 4
作者:
Kuang, Shang-Qi
;
Zhang, Chao
;
Li, Shuo
;
Yang, Hai-Gui
;
Huo, Tong-Lin
;
Zhou, Hong-Jun
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浏览/下载:403/107
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提交时间:2019/09/17
Quantum theory
Fabrication
Genetic algorithms
Magnetron sputtering
Multilayers
Reflection
大口径望远镜次镜系统的拓扑优化设计
期刊论文
红外与激光工程, 2018, 期号: 08, 页码: 262-267
作者:
张丽敏
;
韩西达
;
吕天宇
;
赵宏超
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浏览/下载:168/0
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提交时间:2019/09/17
次镜系统
轻量化
拓扑优化
有限元
Technology and development of deployable segmented ultra-large-aperture space remote sensors
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: 1287-1298
作者:
Yang, Hui-Sheng
;
Zhang, Xue-Jun
;
Li, Zhi-Lai
;
Bao, He
;
Fan, Yan-Chao
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提交时间:2019/09/17
Remote sensing
Manufacture
Space research