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Apparatus and its principle for thermal aberration compensation 期刊论文
Applied Optics, 2022, 卷号: 61, 期号: 29, 页码: 8624-8632
作者:  X. F. Yu;  H. J. Yang and M. Y. Ni
浏览  |  Adobe PDF(16982Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：74/31  |  提交时间：2023/06/14
40x zoom optical system design based on stable imaging principle of four groups 期刊论文
Applied Optics, 2022, 卷号: 61, 期号: 6, 页码: 1516-1522
作者:  K. Zhang;  Z. Qu;  X. Zhong;  F. X. Li and S. Y. Yu
浏览  |  Adobe PDF(8534Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：93/49  |  提交时间：2023/06/14
Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
浏览  |  Adobe PDF(2985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/106  |  提交时间：2019/09/17
adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Speckle pattern sequential extraction metric for estimating the focus spot size on a remote diffuse target 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 32
作者:  Yu, Z.;  Y. Y. Li;  L. S. Liu;  J. Guo;  T. F. Wang and G. Q. Yang
浏览  |  Adobe PDF(1473Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：302/90  |  提交时间：2018/06/13
Correcting groove error in gratings ruled on a 500-mm ruling engine using interferometric control 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 21
作者:  Mi, X. T.;  H. L. Yu;  H. Z. Yu;  S. W. Zhang;  X. T. Li;  X. F. Yao;  X. D. Qi;  Bayinhedhig and Q. H. Wan
浏览  |  Adobe PDF(2137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/119  |  提交时间：2018/06/13
Low-stress and high-reflectance Mo/Si multilayers for extreme ultraviolet lithography by magnetron sputtering deposition with bias assistance 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 26
作者:  Yu, B.;  C. S. Jin;  S. Yao;  C. Li;  Y. Liu;  F. Zhou;  B. Y. Guo;  H. Wang;  Y. Xie and L. P. Wang
浏览  |  Adobe PDF(1006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/104  |  提交时间：2018/06/13
Computational method for simulation of thermal load distribution in a lithographic lens 期刊论文
Applied Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 15
作者:  Yu, X. F.;  M. Y. Ni;  D. W. Rui;  Y. Qu and W. Zhang
Adobe PDF(972Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/87  |  提交时间：2017/09/11
Analysis and experiments of the thermal-optical performance for a kinematically mounted lens element 期刊论文
Applied Optics, 2014, 卷号: 53, 期号: 18, 页码: 4079-4084
作者:  Yu X. F.;  Ni M. Y.;  Zhang W.;  Sui Y. X.;  Qin S.
Adobe PDF(697Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/67  |  提交时间：2015/04/24