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斜入射下液晶空间光调制器纯相位调制特性研究 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 1, 页码: 190-196
作者:  鲁强;  盛磊;  张鑫;  白继清;  乔彦峰
caj(3643Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/114  |  提交时间：2017/09/17
光学器件  液晶空间光调制器  纯相位调制  斜入射  相位调制特性  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：286/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪